9月30日，深交所对晶瑞股份下发关注函，要求说明，本次购买光刻机设备的具体用途、资金来源、相关设备的交付计划及预计交付时间;本次拟购买光刻机设备型号等说明本次购买光刻机事项对公司光刻胶业务的具体影响以及开展集成电路制造用高端光刻胶研发项目的原因、项目进展规划、项目推进存在的难点、预计对公司2020年及未来期间财务状况和经营成果的具体影响。

就在前天(28日)晚上，晶瑞股份公告称，为开展集成电路制造用高端光刻胶研发项目，拟通过Singtest Technology PTE. LTD。进口韩国SK Hynix(海力士)的ASML光刻机设备，总价款为1102.5万美元(折合7508万人民币)。

受此消息影响，29日，晶瑞股份开盘涨停，小幅下挫后，又迅速封涨停。截至收盘，该股上涨19.99%，公司的总市值一天暴涨14亿。

但经历昨日大涨后，该股今日走势并不佳，截至收盘跌5.20%，报40.63元/股。

在28日的公告中，公司还表示，拟发行不超5.5亿元可转债，用于集成电路制造用高端光刻胶研发项目、阳恒化工年产9万吨超大规模集成电路用半导体级高纯硫酸技改项目、补充流动资金或偿还银行贷款。

公开信息显示，晶瑞股份是一家生产销售微电子业用超纯化学材料和其他精细化工产品的上市企业，主要产品包括超净高纯试剂、光刻胶、锂电池材料等，广泛应用于超大规模集成电路、LED、TFT-LCD面板制造过程、太阳能硅片的蚀刻与清洗。

基本面上，根据2020年中报，该公司今年上半年实现营收4.29亿元，同比增长14.37%，其中，光刻胶营业收入4307.3万元，同比增长21.48%。

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