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8月28日晚间，芯源微发布中报，2023 年上半年，公司继续加大研发投入，产品竞争力不断增强，收入规模持续增长。2023上半年实现营业总收入6.96亿元，同比增长37.95%；归属母公司股东净利润1.36亿元，同比增长95.48%；截至本报告期末，公司资产总额 38.38亿元，归属于上市公司股东的净资产22.23亿元，公司资产质量良好，财务状况稳健。

2023 年上半年，公司在浸没式高产能涂胶显影机平台架构及内部腔体单元上进行了进一步的优化和完善，全新的热盘快速降温技术在热盘单元烘烤温度切换过程中实现了降温时间的大幅缩短， 提升了热盘处理效率，整机产能得到了提升；旋涂省胶技术应用了基于大量客户端量产数据模型下生成的核心函数控制系统，实现了涂胶工艺中的光刻胶旋涂精准控制，可为客户大量节约光刻胶成本。此外，公司在前道物理清洗机的多腔体高产能架构及零部件国产化等方面也取得了良好进展。

公司是国家集成电路产业技术创新联盟及集成电路封测产业链技术创新战略联盟理事单位， 先后主持制定了喷胶机《喷雾式涂覆设备通用规范》（SJ/T11576-2016）、涂胶机《旋转式涂覆设备通用规范》（SJ/T11183-2022）两项行业标准，均已正式颁布实施。

2023 年2 月，公司技术中心被认定为“国家企业技术中心”。国家企业技术中心的认定，是对公司技术创新能力和自主研发能力的充分肯定，也是公司科研能力和综合能力的体现。

（文章来源：上海证券报·中国证券网）

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